机译:纳米压印模具上的氟化类金刚石碳涂层作为防粘层
Graduate School of Science, University of Hyogo, LASTI, 3-1-2 Koto, Kamigori, Ako, Hyogo 678-1205, Japan;
fluorinated diamond-like carbon (F-DLC); antisticking layer; chemical vapor deposition; nanoimprint; lithography; low surface energy; high hardness;
机译:氟化类金刚石碳薄膜作为纳米压印模具防粘层的表面评估
机译:全氟三氯硅烷防粘层的降解:对模具清洁,紫外线-纳米压印和粘结式紫外线-纳米压印模具的影响
机译:UV纳米压印光刻模具防粘层的扫描探针显微镜表征
机译:混合(CNP)纳米压印模具的抗反射铬上的抗粘层
机译:使用分子动力学模拟量化对超薄多层金刚石状碳涂层基材的保护性和粘附性
机译:评价氟化金刚石状碳涂层的抗菌和细胞毒性特性用于发育抗菌医疗植入物
机译:提高石英霉菌抗静电层耐久性的新型氟化化合物
机译:研讨会报告:脉冲激光沉积制备类金刚石层耐磨多层涂层的研究