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【24h】

Two-Bit/Cell Characteristics of Silicon-Oxide-Nitride-Oxide-Silicon Flash Memory Devices with Recessed Channel Structure

机译:具有凹槽结构的氧化硅-氮化物-氧化硅-硅闪存器件的两位/单元特性

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摘要

We proposed a device structure for novel 2-bit/cell silicon-oxide-nitride-oxide-silicon (SONOS) flash memory and characterized the device for sub-50nm non-volatile memory (NVM) technology. The proposed memory cell has a nitride layer formed on the surface
机译:我们提出了一种用于新型2位/单元氧化硅-氮化硅-氧化硅(SONOS)闪存的器件结构,并针对低于50nm的非易失性存储器(NVM)技术对器件进行了表征。所提出的存储器单元在表面上形成有氮化物层。

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