机译:均匀介电层的旋涂膜转移和热压系统及其在多孔低k膜形成中的应用
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机译:旋涂膜转移和热压技术在基膜与电介质之间的界面剥离特性
机译:超低k应用中多孔有机硅酸盐薄膜的粘塑性变形研究
机译:具有超临界CO {Sub} 2技术的多孔低k介电膜提取和恢复65nm及超出应用
机译:用于钛-6-铝-4-钒和316L不锈钢植入物应用的溶胶凝胶衍生的氧化锆薄膜涂料:氧化锆的微观结构和涂层-基材体系对施加变形的响应的研究。
机译:用于微和纳米电子应用的低k介电薄膜的热稳定性的宽带介电光谱表征
机译:多孔低k介电薄膜和UHP气体输送系统中分子污染物的控制