収差補正TEMによるZrO_2超薄膜における構造遷移層の解明

摘要

試料は（001）Si基板上にPLD法1027Kで001エピrnタキシャル成長したアンドープZrO_2超薄膜である．rnFig.1は［001］方向から観察した球面収差補正TEMrn（Plan-View）像と画像の各領域のディフラクトグラムrnを示す．領域1（マトリックス）には100回折スポットrnが現れていないのに対し，領域2（析出相）には100回rn折スポットが出現していることから，それぞれ正方rn相，単斜相である．