超塑性ダイレス引抜きによる金属マイクロチューブの創成

摘要

近年，超微細な金属マイクロチューブは，マイクロマシンrn用の機械・構造部品や冷却用マイクロノズル，放電加工用電rn極管，コンタクトプローブ，無痛注射針など，多種多様なrn用途をもつ素材として期待されている．現在，チューブの縮rn管方法は，金型を要するダイス引抜きが中心である．しかrnしながら，マイクロチューブの創成において従来の引抜き加rn工で必要とされるダイスなどの微細金型は，高精度なものがrn要求されるため，それらの創製が非常に困難なものとなる．