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机译:压电驱动机械设备的镜面设计:建模和仿真
Department of Mechanical Design, Inha Technical College, 100, Inha-ro, Nam-gu, Incheon, South Korea, 402-752;
Ring resonator; Resonator block; Piezo-driven mirror; Path length control;
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机译:多光束干扰设备的原理和设计:基于微机电系统的分段变形镜的自适应频谱衰减器
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