机译:降阶建模,可对热壁化学气相沉积反应器进行有效的数值优化
Institut de Calcul Intensif, Ecole Centrale de Nantes, Nantes, France;
Institut de Calcul Intensif, Ecole Centrale de Nantes, Nantes, France;
Institut de Calcul Intensif, Ecole Centrale de Nantes, Nantes, France;
Chemical vapour deposition; Multi-physics modelling; Parametric PDE; Process optimization; Proper generalized decomposition; Reduced order modelling;
机译:在减压化学气相沉积反应器中用二氯硅烷沉积的晶体硅Fabry-Perot腔用于热敏
机译:在减压化学气相沉积反应器中用二氯硅烷沉积多晶硅法布里-珀罗腔,以进行热传感
机译:形成SiO2膜的工业移动带化学气相沉积反应器的建模
机译:用于化学气相沉积的热壁和冷壁反应器的数学建模
机译:化学气相沉积反应器的表征和控制
机译:化学气相沉积法制备Cu-ZSM-5催化剂用于固定床反应器中苯酚的湿式过氧化催化
机译:形成SiO2膜的工业移动带化学气相沉积反应器的建模
机译:旋转盘式化学气相沉积反应器内流动与传热的数值模型