SISTEMAS NANOELECTROMECáNICOS: ORIGEN, APLICACIONES Y DESAFíOS

摘要

Se presenta una revisión sobre los sistemas nanoelectro-mecánicos (NEMS) considerando su origen, sus potenciales aplicaciones y los principales desafíos. Los NEMS tienen atributos fascinantes tales como el tama?o en la escala nanométrica, muy bajo consumo de potencia, alto factor de calidad, operación a altas frecuencias, alta sensibilidad y resolución. Estos atributos le permiten ser adecuados para gran cantidad de aplicacionesrntecnológicas tales como sensores ultra rápidos, actuadores, componentes de procesamiento de se?ales, nanomemorias v nano-robots. Sin embargo, los NEMS enfrentan importantes desafíos tecnológicos para lograr con éxito su optimización, una mino-fabricación reproducible con alta resolución, altos factores de calidad, e integración con circuitos electrónicos.