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机译:具有晶圆回访和驻留时间限制的双手臂群集工具的调度
Department of Industrial Engineering, School of Electro-Mechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China|c|;
Cluster tools; Petri net; scheduling; semiconductor manufacturing;
机译:基于新型计划的具有晶圆回访和驻留时间约束的双臂集群工具的可调度性和调度分析
机译:基于稳态调度分析的具有晶圆驻留时间约束的双臂集群工具可调度性和最优调度的封闭式解决方案
机译:调度具有多个晶片类型和居住时间约束的双臂集群工具
机译:基于Petri网的双臂集群工具的调度分析受制于晶圆重访和驻留时间限制
机译:使用实时反馈控制和预测对半导体晶圆制造进行车间调度。
机译:校正:SunY .;等。基于铁路时间表的时空约束的危险品道路-铁路多式联运问题的双目标建模。诠释J.环境。 Res。公共卫生201613762
机译:具有晶圆重新探测的双臂群工具的基于Petri-Net的调度策略