机译:利用8英寸先进MEMS制造平台开发六自由度惯性传感器
Agcy Sci Technol & Res, Inst Microelect, Singapore 138634, Singapore;
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Accelerometer; aluminum-germanium (Al-Ge) bonding; gyroscope; inertial sensors; mircoelectromechanical systems (MEMS); through-silicon interposers (TSIs); wafer-level vacuum packaging;
机译:使用MEMS传感器的改进的角速度估计及其在微型惯性稳定平台中的应用
机译:MEMS惯性传感器设计与制造的比较研究
机译:用于制造精密MEMS惯性传感器的HARPSS工艺
机译:6-DOF惯性传感器开发,具有先进的制造平台
机译:在温度控制平台上开发基于MEMS化学电容器聚合物的气体传感器。
机译:基于MEMS惯性传感器的步态分析通过多传感器融合进行康复评估
机译:用于制造精密mEms惯性传感器的HaRpss工艺
机译:开发无线mEms多功能传感器系统和用于监测混凝土路面的嵌入式传感器的现场演示:第二卷 - 用于混凝土路面健康监测的无线mEms多功能传感器(Wms)系统的开发。