バルブ金属（Hf,Zr,Nb,Ta）2層陽極酸化膜キャパシタの損失特性と拡散現象の検討

摘要

（Hf,Zr）を上層，（Nb,Ta）を下層に組rnみ合わせた2層膜を陽極酸化して作製した2層キャパrnシタの損失特性と構成元素の拡散現象を調べた結果，rnHf/Nb2層陽極酸化膜においてのみ下層金属元素の上rn層酸化膜中への拡散が見られ，他の組合せでは下層金rn属元素の拡散は抑制され，Hf/Ta2層陽極酸化膜で最rnも低損失（tanδ=0.004）なキャパシタが得られた．