［招待論文］UTC－PDと集積化可能なTHz帯動作InP系ショットキーパリアダイオード

摘要

An InP-based Schottky-barrier diode (SBD) is monolithically integrated with a wideband log-periodic toothed antenna for detecting millimeter- and sub-millimeter-waves at frequencies of up to the terahertz (THz) range. A module with a quasi-optical collimation lens fabricated for practical use exhibits sensitivities of 1000 VAV at 300 GHz and 125 V/W at 1.2 THz with good linearity. Near-distance wireless transmission of 5 Gbit/s data with a 240 GHz carrier is also examined using the fabricated SBD module.%ショットキーパリアダイオード（SBD）は、室温で動作する高周波検波素子として広く用いられている。本報告では、SBDと「単一走行キャリア・フォトダイオード（UTC－PD）」とを集積化した機能素子の実現を目指した試みとして、UTC－PDのエビ層を用いたInP系SBDを試作・評価した結果について紹介する。試作したSBDは広帯域平面アンテナをモノリシック集積しており、準光学型のモジュールに実装して検波特性を評価した。その結果、無バイアス状態での検出感度として300GHzで1000V／W、1．2THzで125V／Wと良好な値が得られた。また、試作したモジュールを用いた無線伝送実験を行い、周波数240GHzのキャリアを用いて5Gbit／s信号の伝送を実証した。