アルコール系原料を用いた強誘電体膜の電気的特性評価

摘要

近年，次世代の薄膜形成手法のひとつであるプリンテッド・エレクトロニクス手法に応用できるアルコール系インクから強誘電体薄膜の合成を行い，その電気的特性の検討から特性の改善を試みた．前駆体膜を繰返し塗布した後，一括して結晶化処理を行った場合には，漏れ電流が大きく，絶縁破壊電界が小さくなる．そこで前駆体膜を一層毎結晶化することにより，自発分極および抗電界はそれぞれ13.2μC／cm~2 ぉよび14.8kV／cmと改善された．%The inkjet technique is devised as one of the thin film formation method of the next generation. We synthesized the ferroelectric thin film of bismuth titanate by using alcohol-related solutions. Ferro- and dielectric characteristics has been improved by a new thin film formation process. The remanent polarization and the coercive field were 13.2 μC/cm~2 and 14.8kV/cm, respectively.