集束イオンビーム誘起堆積Pt冷陰極からの縞状電子放出パターンの観測

摘要

Field emission properties and electron emission patterns of Pt filed emitters fabricated by focused-ion-beam-induced deposition (FIBID) were investigated by field emission microscopy (FEM). The field emission properties of Pt field emitters fabricated by FIBID were improved after several measurements, resulting in a high emission current of more than 10 uA. The FEM image with fringelike electron emission patterns from Pt field emitters were observed after several measurements. The fringelike electron emission pattern was, further, in a good agreement with the simulated intensity profile of the superposition model of three interferences. These results indicated that the origin of the fringelike electron emission patterns was electron wave interference.%集束イオンビーム誘起堆積Pt冷陰極の電界放射特性と電子放出パターンを電界放射顕微鏡を用いて評価した。集束イオンビーム誘起堆積Pt冷陰極の電界放射特性は複数回の測定後に向上し、10μA以上の電界放射電流が得られた。複数回の測定後、電界放射顕微鏡像で縞状の電子放出パターンを観測した。これらの縞状の電子放出パターンは3つの電子波干渉の重ね合わせモデルで計算した干渉縞の二次元強度分布とよい一敦を示した。これらの結果は、縞状の電子放出パターンは電子波の干渉パターンである可能性を示唆している。