Cu/Pt/Fe三層膜によるFePtCu規則合金薄膜の特性制御

摘要

熱アシスト磁気記録用媒体材料として有望視されているL1_0Fept規則合金薄膜のキュリー温度の制御をCu添加により行った。 Cu/Pt/Fe三層膜を水素雰囲気中において600℃で加熱することによりc軸配向したFePtCu規則合金薄膜を作製した。作製した試料のキュリー温度はFePtに比べ低下しており、Cuの添加効果を確認することができた。Cu/Pt（3nm）ne（3nm）三層膜においてCu膜厚を変える事によりFePtCuのCu組成比の制御を試みた。Cu膜厚が0.5nmまではFePt（001）ピーク強度が増大していくが0.7nmでは規則合金による回折線強度が低下した。Cu膜厚を増やすことによってキュリー温度の低下や200℃付近での保磁力の十分な低下が確認された。%FePtCu ordered alloy films were fabricated from Cu/Pt/Fe trilayers in order to control their Curie temperature suitable for the operation temperature of media in heat assisted magnetic recording (HAMR) system. It was confirmed that the addition of Cu into FePt films makes Curie temperature of the FePtCu films lower than that of FePt films. The control of Cu content ratio in FePtCu films was performed by adjusting Cu layer thickness of Cu/Pt/Fe trilayers. As increasing Cu thicknesses, their Curie temperature and coercivity decreased adequately for HAMR media.