光波長可変フィルタのための導波路形複合Fabry-Perot共振器の特性と製作プロセスの検討

摘要

We proposed and fabricated a tunable filter using Si-waveguide multiple-cavity Fabry-Perot resonators with ferroelectric liquid crystal cladding. We theoretically analyzed spectral characteristics of the proposed device with F-matrix method and effective index method. An improvement of resonance wavelength characteristics and a wavelength tuning operation were obtained in the fabricated devices.%通信トラフィックの増加に対応するため、大容量で柔軟なWDM通信システムの実現が必要であり、そのために、低消費電力で集積化に適した光波長可変フィルタはキーデバイスのひとつである。我々はこれまでに、強誘電性液晶を用いた導波路形Fabry-Perot共振矧こよる光波長可変フィルタを提案し、原理動作を実証した。さらに特性改善を行うため複合Fabry-Perot共振器を用いた導波路形光波長可変フィルタを提案した。今回、提案した素子構造について等価屈折率法とFマトリクス法を用いての特性解析と、製作プロセスの検討を行ったので報告する。