机译:射频磁控溅射石英圆柱对LiMn2O4薄膜形成的影响
静岡大学 工学研究科 〒432-8561 浜松市中区城北3-5-1;
静岡大学 工学部 〒432-8561 浜松市中区城北3-5-1;
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LiMn_2O_4薄膜; RFマグネトロンスパッタリング; Li二次電池;
机译:射频磁控溅射石英圆柱对LiMn_2O_4薄膜形成的影响
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