波長選択スイッチ（WSS）用MEMSミラーアレイモジュール

摘要

We developed a new two-axis microelectromechanical-systems (MEMS) mirror array module for wavelength selective switches (WSS). This MEMS mirror array module has a suitable structure for narrow-pitch and high fill-factor. We designed a new electrode structure to reduce electric interference between adjacent channels. To fabricate the MEMS mirror array module, we developed a small sealing package and a high density, flexible, electrical interface. We fabricated a 50ch-MEMS mirror array module using these technologies, and confirmed that the module has good characteristics. We also confirmed the electric interference reduction in the fabricated MEMS mirror array module.%波長選択スイッチ（WSS：Wavelength Selective Switch）用として、高フィルファクタで狭ピッチ・多チャネル化に適する二軸回転可能なMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）ミラーアレイモジュールを開発した。MEMS　ミラーアレイの隣接チャネル間で発生する電気的な干渉を低減するため、電極構造の最適設計を行った。さらに、MEMSミラーアレイをモジュール化するために必要な、小型気密封止パッケージ構造、および高密度フレキシブル電気インタフェース構造を開発した。これらの技術を適用して試作した50ch-MEMS ミラーアレイモジュールの基本特性を評価した結果、設計仕様を満たす良好な回転特性、および電気干渉低減効果を確認した。