MEMSミラーを用いた波長選択スイッチの特性制御

摘要

A new wavelength selective switch (WSS) is fabricated using a two-axis micro electro mechanical systems (MEMS) mirror array. This WSS has port selection, hitless, and attenuation features by controlling two-axis mirrors. Suppression of one of the property degradation "Rabbit Ear" and temperature-dependent-loss are achieved by mirror control.%2軸独立駆動可能なMEMSミラーアレイを用いて、波長選択スイッチ（WSS）を作製した。このWSSはミラーを2軸で制御することにより、ポート切替、ヒットレス動作、アッテネーション機能を有するとともに、2軸を同調して制御することによりミラー回転により発生するラビットイヤー（特性劣化）の抑制、及び温度による損失変動の補償が可能である。