基礎からわかるナノデバイス

摘要

半導体集積回路の高性能化の原動力である微細加工技術により，トランジスタサイズは，ナノメートルスケールに至っている．また，エピタキシャル成長技術の発展により，半導体層の原子オーダーの制御が可能となり，その技術により実現した量子井戸レーザは，光ファイバ通信，更には，CD／DVDのピックアップ用光源として広く利用されてきた．これらの半導体微細加工技術は広範囲なナノテクノロジーとして，エレクトロニクス分野だけではなく，材料，化学，バイオなどとの融合により様々な新しい分野を築きつつある．本書はナノエレクトロニクスを電子，スピン，光（フォトン），超伝導（クーパーペア）の4分野に分け，これらの物理現象や，デバイス応用について，大学院生，更には，この分野に興味のある研究者を対象に，その基礎となる原理を説明することを主としている．