中赤外量子カスケードレーザ: 研究開発の経緯と計測応用

摘要

1971年，KazarinovとSurisは超格子構造の共鳴トンネルによる電流注入励起を利用したサブバンド間遷移による光増幅の可能性を議論した．20年以上の時を経て1994年，Faist，CapassoらはInGaAs／InAlAs多重量子井戸／超格子構造でのサブバンド間遷移による4．3μm帯の量子カスケードレーザ（QCL：Quantum Cascade Laser）の低温発振に成功した．