半導体薄膜レーザとその集積化の現状

摘要

集積回路内の電気配線層の低消費電力化に向けた光インタコネクトの可能性が1984年に提唱されている.光検出器の最小受信電力で規定される光出力を極低消費電力で送信できる光源が要求されるが，近年の半導体レーザの低消費電力•高速動作化の進展とともに，その可能性が増しつつある.本稿では，集積回路上の光インタコネクトを目指して研究を進めてきた半導体薄膜レーザの基本構造と動作原理及び期待される基本特性，更にこれまでの進展状況について御紹介するとともに，現状の課題と今後の展望について御報告する.