磁気式リニア位置センサの開発

摘要

産業機械や検査試験装置に用いられる位置センサには高rn精度化，小型化，低コスト化に加え，油や煙等に対するロrnバスト性が求められている。そのため，磁気を計測原理とrnした位置センサが注目され，例えば，差動トランス式，rn渦電流式，磁歪式，そして磁石と磁気検出素子またはrnコイルを利用した位置センサなどが既に報告されてrnいる。