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机译:用于晶圆级仿真的群集光刻工具模型:从仿射到流水线
Department of Industrial and Systems Engineering, KAIST, Daejeon, South Korea;
Department of Industrial and Systems Engineering, KAIST, Daejeon, South Korea;
Department of Industrial and Systems Engineering, KAIST, Daejeon, South Korea;
Semiconductor device modeling; Computational modeling; Simulation; Lithography; Discrete event simulation; Robots;
机译:FAB级模拟中的聚光照相成像仪AX + B设备模型的准确性
机译:晶圆级仿真的群集光刻工具的出口递归模型
机译:晶圆级仿真的半导体制造设备的多类流线模型
机译:集群光刻工具中非模型动力学对调度优化的影响
机译:二元星系星团合并的模拟:对真实星团建模并探索参数空间。
机译:使用大涡模拟和分析工具对分形状多尺度地形上的湍流边界层流进行建模
机译:关于FaB级模拟中聚类光刻扫描仪aX + B设备模型的适用性