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机译:激光辅助化学气相沉积法在悬浮微结构上局部合成碳纳米管薄膜
Institute of Microelectronics , Tsinghua University, Beijing, China;
Films; Heating; Iron; Microstructure; Nanoparticles; Solids; Substrates; Carbon nanotube (CNT); complementary metal oxide semiconductor (CMOS); integration; laser; microstructure;
机译:激光辅助化学气相沉积法在平面上快速局部合成单壁碳纳米管
机译:激光辅助化学气相沉积法在硅反蛋白石结构上合成悬浮碳纳米管
机译:激光辅助催化化学气相沉积合成碳纳米纤维薄膜和纳米纤维复合涂层
机译:激光辅助化学气相沉积催化剂沉积和碳纳米管合成
机译:在大气压下通过化学气相沉积合成碳纳米管和黄铁矿薄膜。
机译:热化学气相沉积法生长碳纳米管的生长和微观结构
机译:通过激光辅助化学气相沉积直接合成单壁碳纳米管桥接金属电极
机译:金刚石薄膜上碳纳米管生长的三种不同化学气相沉积(CVD)技术的比较研究。