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机译:使用金属-空气-金属电容器的超低损耗分布式X波段和Ka波段MEMS相移器
Dept. of Electr. Eng. & Comput. Sci., Univ. of Michigan, Ann Arbor, MI, USA;
microwave phase shifters; microswitches; coplanar waveguide components; capacitors; distributed MEMS phase shifter; metal-air-metal capacitor; X-band; bias line; distributed MEMS transmission line; spring constant; switching time; reflection coeffici;
机译:低损耗Ka频段分布式金属-空气-金属MEMS移相器
机译:使用金属-空气-金属电容器的V波段2-b和4-b低损耗和低压分布式MEMS数字移相器
机译:低损耗级联MEMS分布式X波段移相器
机译:使用金属-空气-金属电容器的低损耗Ka频段分布式MEMS 2位移相器
机译:高性能数字X波段和Ka波段分布式MEMS相移器。
机译:基于多模干涉波导的低损耗移相器硅光调制器
机译:基于分布式mEms传输线结构的Ka波段移相器改进设计