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机译:使用晶片中空介电波导过孔的多层光学互连
机译:晶片间光互连耦合特性
机译:Si上用于AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管的镀铜通孔
机译:使用玻璃回流工艺实现具有嵌入式晶圆通孔的玻璃上硅MEMS器件,用于晶圆级封装和3D芯片集成
机译:MWT细胞的晶圆通孔的特性
机译:MEMS的集成晶圆式光学监控器,用于闭环控制。
机译:用于高速光学互连的反射耦合波导光电探测器
机译:集成光学mEms,采用晶圆通孔和凸点焊接。
机译:采用通孔晶片过孔和凸块键合的集成光学mEms