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机译:具有埋入式分布式布拉格反射器的硅基板,用于谐振腔增强型光电子学
Dept. of Electr. & Comput. Eng., Boston Univ., MA, USA;
silicon-on-insulator; silicon; mirrors; photodetectors; optical resonators; integrated optics; SIMOX; optical fabrication; ion implantation; oxidation; chemical mechanical polishing; dark conductivity; silicon substrates; buried distributed Bragg ref;
机译:具有埋入式分布式布拉格反射器的硅基板,用于谐振腔增强型光电子学
机译:具有掩埋分布式布拉格反射器的硅基板,用于谐振腔增强光电子
机译:具有掩埋分布式布拉格反射器的硅基板,用于谐振腔增强光电子
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