田中貴金属、薄膜PV向けスパッタリングターゲット開発

摘要

田中貴金属グループの製造事業を展開する田中貴金属工業は、薄膜シリコン太陽電池などの銀薄膜形成で、国内初の銀系大型円筒スバッタリングターゲットを提供開始した。同製品は、円筒面を回転させることにより、常にスバッタ面を移動することができるため、約80％という高使用効率で薄膜形成ができ、従来のアレーナー型（円盤、角板）より使用効率（スバッタリングとして使用できる割合）が約3倍の銀および銀合金の大型円筒スバツタリングターゲット。