Neue M?glichkeiten zur Charakterisierung und Defekter- kennung in Dünnschichtsystemen und Kohlefaserverbund- werkstoffen mittels hochfrequenter Wirbelstromprüfung

摘要

Viele Randschichten, einfache und komplexe Verbundwerkstoffe (z.B. Kohlenstofffaserverbundwerkstoffe) und Schichtsysteme (z. B. Photovoltaikzellen), lassen sich durch Wirbelstromprüftechnik charakterisieren. Zahlreiche Qualit?tsparameter beeinflussen die lokale elektrische Leitf?higkeit, die sich pr?zise auch bei geringen Leitf?higkeiten mit der vorgestellten Wirbelstromtechnologie berührungslos bestimmen l?sst. Messergebnisse mit hochaufl?senden abbildenden Wirbelstromverfahren und Wirbelstromtransmissions-messsysteme an verschiedenen, auch mehrlagigen, Schichtsystemen im Nanometerbereich werden vorgestellt. An aktuellen Beispielen aus der Photovoltaik und CFK werden konkrete Einsatzm?glichkeiten aufgezeigt. In Oberfl?chen und Schichtsystem lassen sich Schichtwiderstand, Homogenit?t, Schichtdicke, elektrische Leitf?higkeit oder die Strukturierungen abbilden. In vielen Anwendungen gibt es spezifische Felhlerbilder, die sich mit der vorgestellten Methode berührungslos delektieren lassen. Detektierte Effekte sind Fingerfehler, Risse, Eindiffundierungen und Schatteneffekte. In Kohlefasermaterialien werden Gassen, fehlende Faserbündel, Aufschiebungen, Ausfransungen, fehlende N?hf?den, Winkelabweichungen und Faserkn?ule in unterschiedlichen Lagen delektiert.%Many thin-films, simple and complex composite materials (e.g. carbon fiber composites) and layer systems (e.g. photovoltaic cells) can be characterized with the help of advanced eddy current testing technology as numerous quality parameters affect the local electrical conductivity. This paper presents measurement results gained with high-resolution eddy current spectroscopy and transmission eddy current testing at different layer systems. Detectable characteristics in thin-films and layer systems are sheet resistance, thickness, electrical conductivity, inhomogeneities or the depiction of structures.