Elektrische Eigenschaften von galvanisch abgeschiedenem Nickel

摘要

The electrical properties of electrodeposited nickel structures are here reported as a function of external process parameters such as current density and bath temperature. Using a planned series of experiments, the relationship between process parameters and the specific resistance of the electrodeposited nickel were determined. Values in the range 0.065 Qmm2/m to 0.078 Qmm2/m were typically found. Parameters having the greatest effect were current density, substrate roughness and pulse on-ojfrime ratios.%In diesem Beitrag werden die elektrischen Schichteigenschaften von Strukturen aus galvanisch abgeschiedenem, reinem Nickel in Abhängigkeit von den äußeren Prozessparametern (z.B. Stromdichte, Badtemperatur) untersucht. Mit Hilfe einer Versuchsreihe wurden die Abhängigkeiten zwischen den Prozessparametern und den Werten des spezifischen Widerstands ermittelt. Werte im Bereich von 0,065 Ωmm~2/m bis 0,078 Ωmm~2/m ließen sich gezielt einstellen. Die Parameter Stromdichte, Substratrauigkeit und Puls-Pause-Verhältnis hatten den größten Einfluss.