Die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) zur Herstellung dünner Schichten aus verschiedensten halbleitenden, keramischen oder organischen Materialien mit den unterschiedlichsten Funktionen ist heute nicht nur in der Halbleiterindustrie eine unverzichtbare Produktionstechnologie, sondern auch in vielen anderen Bereichen das Mittel der Wahl zur Herstellung wettbewerbsfähiger Produkte.
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