机译:用于制造垂直侧壁结构的新型悬挂式碗形掩模
Natl Ctr Nanosci & Technol, Beijing 100190, Peoples R China|Univ Chinese Acad Sci, Beijing 100080, Peoples R China;
Natl Ctr Nanosci & Technol, Beijing 100190, Peoples R China;
UV lithography; hanging bowl-shaped mask; sidewall effects; ICP; SiC;
机译:使用柔性PDMS荫罩在垂直Si侧壁上制作Au微图案
机译:通过沸腾的KOH溶液中的湿法蚀刻在Si(110)衬底中具有垂直侧壁的梳理结构的制造
机译:使用新颖的垂直侧壁保护技术,使用DRIE和湿法刻蚀的对称双面光束质量结构的单晶片制造
机译:使用高输出,低成本侧壁掩模技术的硅纳米线PH传感器的制造
机译:硅锗/硅垂直MOSFET和侧壁应变硅器件:设计和制造。
机译:具有Taox的RRAM的垂直3D结构的侧壁电极氧化自定位切换区域
机译:校正:使用水辅助飞秒激光制造的垂直侧壁电极整合到3D玻璃微流体芯片中,用于原位控制ElectrAlis