収差補正透過電子顕微鏡の進展と材料研究応用への展望

摘要

近年、電子顕微鏡の性能に著しい進展がみられた。これは、電子顕微鏡発祥の地であるドイツから再びもたらされた革命 的技術－「磁場レンズ球面収差補正装置」によって成し遂げられ、頭打ちの感があった分解能が今世紀に入って飛躍的 に向上したことによる。