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Advanced Energy Industries' Paramount RF-power delivery system platform is power-delivery accuracy and control for increasingly complex film stacks and fine feature sizes. The 3kW Paramount system is suited for both etch and deposition processes in semiconductor, FPD, MEMS and solar photovoltaic manufacturing.

机译：Advanced Energy Industries的派拉蒙（Paramount）射频功率传送系统平台具有功率传送准确性和控制功能，可用于日益复杂的胶卷和精细尺寸的胶片。 3kW Paramount系统适用于半导体，FPD，MEMS和太阳能光伏制造中的蚀刻和沉积工艺。

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《EuroAsia semiconductor》 |2009年第4期|37|共1页
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