Sensorik für aggressive Produktionsprozesse

摘要

Galvanikprozesse oder nasschemische Anlagen, in denen Leiterplatten geätzt oder Wafer für Solarzellen hergestellt werden, stellen ein spezielles Umfeld dar: Da die Produktionsprozesse den Einsatz von Säuren und Laugen erfordern, herrschen hier aggressive Umgebungsbedingungen vor. Sensoren mit Stahl- oder Edelstahlgehäuse wären dort das falsche Mittel der Wahl, sie würden innerhalb kürzester Zeit zerstört, selbst wenn sie nicht direkt mit den aggressiven Medien in Kontakt kommen. Gleichzeitig erfordert Reinstwasser inerte Sensoren, um eine Kontamination sicher auszuschließen. Die Rena Technologies GmbH [1] gilt seit vielen Jahren als Spezialist für Produktionsanlagen zur nasschemischen Oberflächenbehandlung in der Solar-, Halbleiterund Medizintechnik. Ihr Produktportfolio ist breit gefächert und passt flexibel zu unterschiedlichen Herstellungsprozessen. Funktionalität, Zuverlässigkeit und Sicherheit spielen dabei eine wichtige Rolle. Die nasschemischen Inline- und Batch-Prozesse für die Solarzellenfertigung beispielsweise sind rund um den Globus im Einsatz. Das stellt an die eingesetzten Komponenten hohe Anforderungen, unter anderem an die Sensoren, die zu Leitfähigkeitsmessungen bei der Verteilung von demineralisiertem Wasser oder zur Überwachung der Wärmetauscher beim Ätzprozess eingesetzt sind. Stillstandszeiten der nasschemischen Prozesse beispielsweise für einen ungeplanten Sensoraustausch sind unter allen Umständen zu vermeiden. Deshalb verlassen sich die Anlagenbauer aus dem Schwarzwald bereits seit vielen Jahren auf die Lösungen des Fluidikspezialisten Bürkert Fluid Control Systems [2], der Sensorik in robusten Kunststoffgehäusen schon lange im Programm hat. Heute sind in den nasschemischen Anlagen zur Oberflächenbehandlung mehrere induktive oder konduktive Leitfähigkeitssensoren im Einsatz. Dank der speziell auf die Anwendung in der Galvanik und Nasschemie optimierten, chemisch inerten Kunststoffmaterialien eignen sich die Sensoren gut für den Einsatz unter aggressiven Umgebungsbedingungen. Verschiedene Fittings, Dichtungen und Nennweiten ermöglichen eine einfache Integration in unterschiedliche Anlagen.