Numerical computation of electric fields including singularities in Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

摘要

Obliczenia pól elektrycznych odgrywają ważną rolę w symulacjach systemów elektro-mechanicznych, MEMS. W wielu przypadkach istnieje potrzeba obliczenia pola elektrycznego blisko narożników obiektu. W artykule przedstawiono zastosowanie rozszerzonej metody elementów skończonych do obliczania sil elektrostatycznych w mikroskopie EFM.%In the simulation of micro electro mechanical systems (MEMS) the calculation of electric fields plays an important role. In many cases electric fields near corners have to be calculated. Since in these cases the singular behavior has to be taken into account they deserve special attention. An augmented finite element approach is presented and applied to an electrostatic force microscope (EFM).