Study on a diode-bridge type capacitance detection circuit for differential capacitive sensor

摘要

Diode-bridge type capacitance detection circuit was developed in order to detect very small variation of differential capacitances in higher resolution. The circuit was designed for a comb structure tilt sensor, which was made of quartz crystal and had several movable electrodes between fixed electrodes. The circuit's output was almost proportional to the displacement of the movable electrode. Presently, the resolution of 0.0015 degree was obtained using the combination of the sensor and the detection circuit. It corresponded to the resolution of about less than 4.5aF.%W celu pomiaru bardzo malej różnicy pojemności z dużą dokładnością skonstruowano obwód elektryczny wykorzystujący mostek diodowy. Obwód został zaprojektowany dla miernika nachylenia kąta wykonanego z kryształu kwarcowego. Czujnik o strukturze grzebieniowej posiadał kilka ruchomych elektrod znajdujących się między elementami nieruchomymi. Sygnał wyjściowy obwodu był praktycznie proporcjonalny w stosunku do przesunięcia elektrod ruchomych. Obecnie osiągnięto dokładność miernika rzędu 0.0015 stopnia co odpowiada dokładności pomiaru pojemności rzędu 4.5 aF.