Komputerowy system identyfikacji i regulacji temperatury pieca do dyfuzji półprzewodników

摘要

This paper describes a research stand used for identification and precise temperature control of multi-section resistance diffusion furnace. Dedicated software enables the MBS identification of dynamic parameters of the furnace and its temperature control by different control strategies.%Niniejszy artykuł przedstawia opis stanowiska badawczego wykorzystywanego do identyfikacji parametrów dynamicznych oraz do precyzyjnej regulacji temperatury wielosekcyjnego pieca oporowego do dyfuzji półprzewodników. Umożliwia ono identyfikację parametrów dynamicznych obiektu badań drogą testów wieloczęstotliwościowych wykorzystujących sygnały MBS oraz regulację temperatury za pomocą różnych wersji algorytmów typu PID oraz regulatora optymalnego w sensie minimalizacji kwadratowego wskaźnika jakości regulacji.