多路高精度扩散炉温度控制系统的设计

摘要

针对传统的扩散炉温度控制系统的精度低、生产工艺控制能力差的现状,设计实现了扩散炉多路高精度温度检测控制系统。系统采用三路热电偶采集扩散炉内温度值并通过基于Smith预估的PID控制,控制三组加热装置的启停,以达到对炉温的控制,控制精度可达1‰,并采用液晶显示模块和按键组成人机交互界面。