Badania derywatograficzne i z wykorzystaniem mikroskopii skaningowej cienkich warstw SnO_x wytworzonych metodą rozwirowania roztworów SnCl_4-5H_2O+IPA

摘要

W artykule przedstawiono wyniki badań derywatograficznych roztworów SnCl_4·5H_2O+IPA używanych do wytwarzania cienkich sensorycznych warstw dwutlenku cyny. Istotnym etapem procesu formowania ostatecznych właściwości warstwy SnO_2 jest wygrzewanie w temperaturze do 1000℃ żelowej warstwy pozostającej na podłożu po etapie rozwirowania. Przemiany, jakim podlega roztwór w trakcie procesu wirowania, a następnie wygrzewania mają decydujący wpływ na ostateczne właściwości warstwy. Przemiany, jakie zachodzą w strukturze warstwy SnO_2 porównywano z morfologią powierzchni warstwy badaną przy wykorzystaniu skaningowej mikroskopii elektronowej.%This paper gives a result of the derivatographic investigation of SnCl_4·5H_2O+IPA solutions, which are used to production of tin dioxide thin sensoric films. The most important step in this process is forming the final properties of spinned SnO_2 gel layer during the annealing at a temperature to 1000℃. The transformations, which occur in the solution during the process of spinning and annealing, have a decisive influence on the final properties of the layer. Transformations taking place in the structure of the SnO_2 layer are in corelation with the surface morphology examined by scanning electron microscopy.