机译:激光等离子X射线源的X射线光刻技术制备200 nm场效应晶体管
机译:激光等离子X射线源的X射线光刻技术制备200 nm场效应晶体管
机译:使用激光等离子体点源X射线光刻技术制造的Sub-0.1 / spl mu / m NMOS晶体管
机译:通过掩模拖动X射线光刻和对准X射线光刻技术制造聚合物微针阵列
机译:用电子束光刻制备200nm周期X射线传输光栅
机译:用于场发射X射线源的碳纳米管阴极的制备,表征和集成。
机译:200 nm周期硬X射线相的制备光栅
机译:激光诱导等离子体X射线源及其应用。投影光刻激光等离子软X射线源的研制。
机译:通过具有50nm线宽的X射线掩模的三电平电子束光刻制造,以及通过X射线纳米光刻复制