机译:通过PECVD制备不同折射率对比的硅基二氧化硅波导
Res. Center COM, Tech. Univ. Denmark, Lyngby, Denmark;
refractive index; optical waveguides; silicon compounds; sputter etching; plasma CVD; optical losses; birefringence; index contrast; Ge-doped silica-on-silicon waveguide; plasma enhanced chemical vapour deposition; reactive ion etching; propagation l;
机译:通过PECVD和ECR制备硅上硅平面光波电路
机译:中红外悬浮的硫属化物/二氧化硅 - 硅槽 - 波导光谱气体传感器,具有增强的轻气相互作用效果
机译:基于深度蚀刻的二氧化硅on-Silicon波导的高度均匀和偏振无关的Y分支,基于深度蚀刻的二氧化硅滤波器
机译:通过PECVD制备不同折射率对比的硅基二氧化硅波导
机译:中折射率对比剂中的光子晶体平板波导:广义横向布拉格波导。
机译:通过基于PECVD的SiO2波导的热退火来增强ARROW光子器件的性能
机译:pECVD采用不同折射率对比硅二氧化硅波导