硅基PN结型光波导有效折射率的定量分析

摘要

为解决脊型波导相位调制的有效折射率测量问题,提出一种3 端口MZI(Mach-Zehnder Interferometer)结构,能定量测量并分析PN 结(Positive-Negative junction)脊型硅光波导中,有效折射率的实部和虚部受偏置电压调制的相对变化,并给出多项式拟合方程.实验所得结果与拟合结果非常符合,最终可以得到脊型波导在相位调制过程中的特性.该测量方法简单易行,可应用于硅基光电子集成芯片当中,作为载流子调制特性定量检测器件.