マグネトロン式•半導体式ハイブリッドマイクロ波電源の開発

摘要

近年マイクロ波を利用した化学反応プロセスの研究が、無機•有機反応プロセス、プラズマプロ セス、触媒化学、環境化学分野等で盛んに行われている。これらの用途ではただ単にマイクロ波を使つ て対象物を加熱するだけでは無く、マイクロ波エネルギーを精密に制御する事が必要で有り、その特性 を良く理解した上で利用する事が求められる。これらの事例でよく用いられるマイクロ波帯周波数は2,45GHz等が一般的で、半導体式は特性は良いが高価で低出力、マグネトロン式は安価で高出力である。 今回はマグネトロン式•半導体式に加え双方の特徴を備え安価で制御性の良い、八イブリッド式マイク 口波電源（注入同期型マイクロ波電源）を開発し、データを取得したので報告する。八イブリツド式マ イク口波電源は精密制御コントローラー、PLL式制御部、半導体式増幅回路、マグネトロン式発振部か らなり構成され、導波管からエネルギーを出力する。最終出力部はマグネトロンであるが、そのコヒー レンスな波形は半導体式とほぽ同等で、周波数及び位相関係も精密に制御する事が出来る。