化学气相沉积金刚石膜工业应用

摘要

@@ 成果成熟程度已经解决在硬质合金衬底上生长均匀致密、附着良好的金刚石膜的技术成果的特点金刚石薄膜涂层硬质合金工具由于性能优异、成本相对较低(与PCD和金刚石厚膜钎焊工具相比)、可以适应于复杂形状工具衬底沉积、以及可能大批量沉积等优点,具有非常好的市场前景.金刚石薄膜涂层硬质合金工具开发的关键是解决金刚石薄膜在硬质合金衬底上的生长(沉积)和良好附着的技术.本项目成果采用独特的衬底预处理和优化的金刚石膜沉积工艺已经解决了Co对金刚石膜生长和附着的有害影响问题.在YG类硬质合金工具衬底所沉积的金刚石膜涂层厚度最大可达20～30μm.用洛氏硬度压痕法评定的金刚石膜附着力时的无裂纹临界载荷达1500N以上.在铣削A1-12wt%Si合金时,金刚石薄膜涂层的YG6铣刀比未涂层硬质合金刀片使用寿命可提高13倍以上.