化学气相沉积金刚石膜工业应用

摘要

@@ 成果成熟程度rn已经解决在硬质合金衬底上生长均匀致密、附着rn良好的金刚石膜的技术rn成果的特点rn金刚石薄膜涂层硬质合金工具由于性能优异、成rn本相对较低(与PCD和金刚石厚膜钎焊工具相比)、可rn以适应于复杂形状工具衬底沉积、以及可能大批量沉rn积等优点,具有非常好的市场前景.rn金刚石薄膜涂层硬质合金工具开发的关键是解决rn金刚石薄膜在硬质合金衬底上的生长(沉积)和良好附rn着的技术.本项目成果采用独特的衬底预处理和优化rn的金刚石膜沉积工艺已经解决了Co对金刚石膜生长rn和附着的有害影响问题.在YG类硬质合金工具衬底rn所沉积的金刚石膜涂层厚度最大可达20～30μm.用洛rn氏硬度压痕法评定的金刚石膜附着力时的无裂纹临界rn载荷达1500N以上.在铣削A1-12wt%Si合金时,金rn刚石薄膜涂层的YG6铣刀比未涂层硬质合金刀片使rn用寿命可提高13倍以上.