MEMS gas ionization sensor with palladium nanostructures for use at ambient pressure

L Müller; H Mehner; M Hoffmann

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MEMS gas ionization sensor with palladium nanostructures for use at ambient pressure

机译：用于环境压力的具有钯纳米结构的MEMS气体电离传感器

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Amicrofabricatedgasionizationsensorwithintegratedfieldenhancingsilicon-palladiumnanostructuresispresented.Thesensorcanbeusedtodeterminetheambientgasbyitsspecificbreakdownvoltage.Technologicaldetailsofthefabricationandtheassemblyofthesensorarepresentedtoo...

机译：提出了一种具有集成场增强硅-钯纳米结构的微细气化传感器。可以通过特定的击穿电压来确定环境气体。详细介绍了技术制造和传感器的组装...

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来源
《Journal of Physics: Conference Series》 |2016年第1期|共页
作者
L Müller; H Mehner; M Hoffmann;
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正文语种
中图分类物理学;
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