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机译:PECVD法制备非晶硅薄膜中嵌入的硅纳米晶体的结构和光学性质
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机译:超光滑电子束蒸发非晶硅薄膜-用于MEMS应用的PECVD非晶硅薄膜的可行替代品
机译:PECVD沉积在晶体硅上的超薄非晶硅薄膜的光学带隙
机译:嵌入氧化硅膜中的硅纳米晶体的结构和光学性质
机译:使用嵌入的硅纳米晶体增强非晶硅薄膜的结晶
机译:通过PECVD在镍金属化多孔硅上沉积的非晶硅薄膜的结晶
机译:通过pECVD在晶体硅上沉积的超薄非晶硅膜的光学带隙