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机译:精密运动平台的模态分析,计量和误差预算
机译:使用具有彩色共焦探针的机器计量系统对超精密机床的10 nm运动误差补偿的试验
机译:一种用于基于绝对位置距离测量的精密旋转级的6dof几何运动误差的方法
机译:三轴自动准直仪,用于检测精密平台的角度误差运动
机译:用于测量精密旋转级误差的便携式计量系统的光学力学设计
机译:高精度口罩制造和计量中的错误。
机译:同时测量线性位移台五自由度误差运动的激光测量系统的误差分析和补偿
机译:使用光学计量的精密主轴中的误差运动的动态计量